250℃高温用圧力センサ
金属ダイアフラムを有するセンサボディの上に、当社独自のスパッタリング薄膜加工技術により、薄膜ストレインゲージを直接ブリッジ回路に加工したセンサです。圧力による金属ダイアフラムの微少なひずみを、ブリッジ回路各辺のストレインゲージの抵抗変化を電気信号に変換して検知する方式を採用しています。従来の圧力センサが必要とした圧力伝達用封入オイルなどを一切使用しておりません。従って、万一ダイアフラム部に損傷が生じても、オイルなどの流出の心配はありません。また、圧力伝達用オイルの熱膨張・収縮等の影響を受けないことから、計測精度や、応答速度に優れ、小形軽量で操作性を大幅に改善しました。
250℃高温圧力センサはセンサ部そのものの温度特性が250℃に耐用するものであり、オイルレスの特長はそのままに、高温下でも直接計測が可能となりました。
さらなる高温化を目指して日々開発を進めています。
用途
当社の力覚センサは、力が物質に加えられた時のひずみによるストレインゲージの抵抗変化を電気信号に変換して検知する方式を採用しています。一般的な力覚センサは、センサボディにストレインゲージを貼り付けますが、当社小型力覚センサは、独自の薄膜技術によりセンサボディにストレインゲージを直接形成していますので、小型・軽量で小さな力でも高感度な測定を行うことが可能になりました。また、信頼性や量産性に優れます。
超小型6軸力覚センサTFSシリーズと小型アンプ内蔵3軸力覚センサMFSシリーズがあります。多軸の力覚センサとしては世界最小クラスです。
大学及び企業のロボット関係研究機関、産業用製造設備関連、医療用機器関連で下記のような用途で使われています。
静電容量式センサとの比較
| 検出方式の比較 (当社調べ) | ||
| 薄膜ひずみゲージ式 | 静電容量式 | |
|---|---|---|
| 感度（ゲージ率） | ○ | ◎ |
| ノイズ | ◎ | △ |
| 外来ノイズ耐性 | ◎ | △ |
| 応答性 | ◎ | △ |
